氟塑料在半导体行业是不可替代的 ! ! !为什么这样说?发表时间:2022-03-28 15:30 4 )PFA几乎对所有的化学试剂和溶剂都是惰性的 ,与通常的酸、 强碱、 氧化还原剂、 卤素或溶剂接触基本无变 化 ,但和其他全氟碳聚合物一样 ,会与熔融碱金属、 氟元素反应 ; 5 )PFA的通透性较好 ,厚度较大时为半透明状 ,薄片为透明状 ,耐候性、 耐大气老化性都比较好 ,可以长期在室 外使用 ; 6 )PFA具有优异的介电性能 ,这种性能通常表现为随温度变化的一个常数 ,但有时会比PTFE、 FEP的低。
我们知道 ,半导体行业对化学品的纯度要求是非常苛刻的 ,从1970年PFA诞生至今 ,半导体行业的目标节点 尺寸从10μm逐步缩小到了7nm ,甚至5nm。 这意味着对电子化学品的纯度要求也在不断上升。 ( PFA、 晶圆以及半导体目标节点尺寸的发展历程 ,图片来源于科慕官网)宁波杰韧塑料科技有限公司 不论是湿法蚀刻还是化学机械抛光( CMP ) ,在整个集成电路制造过程中 ,哪怕是很少的杂质都将对最终的 产品造成巨大影响 ,因此电子元件制造商们对原料、 运输管道以及反应容器等的要求都非常高。 要找到一种既能 耐受强酸强碱、 高温高压的极端化学环境 ,又能被加工成各种形状的材料是非常不容易的 ,所幸科学家们发现了 PFA。宁波杰韧塑料科技有限公司 运输和储存 :由于PFA氟树脂具有极强的化学稳定性 ,它能忍受高温、 强酸等极端环境 ,并且不会与溶剂发生反 应 ,这使得它成为储存容器和运输管道的良好材质。 它保障了制造过程中电子化学品的高纯度 ,避免了因为反应 容器发生溶解、 侵蚀而对电子化学品造成的污染 ,从而降低了晶圆的缺陷率。 化学品配送系统( BCD ) :BCD是一种系统 ,能精确地分配化学品 ,从而降低了从大容器中取出适量化学品的成 本。 这一系统通常包括了调配和稀释化学品的全自动仪器 ,在电子化学品的工厂中运用广泛。 而氟树脂被大量运 用于BCD基础设施中 ,包括制作通风管、 阀门、 水槽等。 湿法蚀刻和清洗 :在湿法工艺中 ,晶圆先被清洗 ,然后蚀刻 ,然后再把光刻胶以及蚀刻过程的残留物清洗干净。 这一过程中 ,PFA氟树脂被制成各种工具 ,如流量计等 ,以保证蚀刻液、 清洗液的高纯度 ;而PFA在使用过程 中不易开裂 ,从而保证了生产的高效性。 化学机械抛光( CMP ) :CMP过程使得晶圆表面在气相沉积之前变得平滑 ,所用到的液体是一种含有细颗粒的研 磨液 ,若研磨液中的颗粒过大 ,会在晶圆表面留下痕迹 ,从而导致产品有瑕疵。 PFA制成的过滤器在一定程度上 |